在半導(dǎo)體、硬盤、平板顯示器的制造賽道上，環(huán)境把控是不容有失的生命線 —— 一絲一毫的質(zhì)量缺陷，都可能轉(zhuǎn)化為難以估量的經(jīng)濟(jì)損失。而守住這條生命線的關(guān)鍵，就是對潔凈車間、工藝核心區(qū)的環(huán)境粒子，進(jìn)行毫厘不差的測量與計數(shù)。
TSI，擁有近 60 年高靈敏度粒子計數(shù)器研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，是行業(yè)內(nèi)名副其實(shí)的 “老牌標(biāo)桿”。其儀器憑借無可挑剔的準(zhǔn)確性、重復(fù)性與可靠性，成為全球多國國家級標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室的信賴之選。
可精確測量0.100μm的粒子，粒徑范圍為0.100至10.0 μm，可同時檢測多達(dá)八個通道的粒子數(shù)據(jù)，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，能夠滿足半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)用的苛刻要求。 應(yīng)用領(lǐng)域 ? 潔凈窒微粒子監(jiān)測,過程監(jiān)控和過濾器測試 ? I 級和 II 級無塵室檢測 ? 適用于單機(jī)運(yùn)行或集成到設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng) 精確檢測0.100 μm的粒子 0.100至10.0 μm粒徑范圍 可同時檢測多達(dá)八個通道的粒子數(shù)據(jù) 1.0 CFM (28.3 L/min)流速 符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)中所有要求 I級和II級無塵室檢測最佳選擇 完全符合ISO 21501-4要求 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性報告 通過TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認(rèn)證報告 采用增強(qiáng)HeNe激光 高可重復(fù)和高可靠檢測/數(shù)據(jù) 數(shù)據(jù)存儲：250區(qū)，999個位置和10,000個樣本 USB、以太網(wǎng)和脈沖輸出 工業(yè)級高分貝報警 允許存儲和回放特定測試/配置 顯示多達(dá)三個環(huán)境參數(shù) 不銹鋼外殼 無縫整合M32-01多點(diǎn)采樣器 無塵室分類達(dá)到ISO I級
特點(diǎn)與優(yōu)勢
9110型可以通過打印機(jī)和配套的TrakProTM LiteSecure下載軟件生成符合ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)的通過或非符合的報告。它不僅可以作為單機(jī)粒子計數(shù)器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。是市面上唯一一款提供此售后保證的便攜式 0.100μm 粒子計數(shù)器。 對于半導(dǎo)體制造而言，潔凈度就是生命線 —— 不僅關(guān)系到潔凈室是否合規(guī)，更直接決定最終產(chǎn)品品質(zhì)。唯有實(shí)現(xiàn)無污染生產(chǎn)，才能從源頭減少缺陷、降低良率損失，讓設(shè)備運(yùn)行更穩(wěn)定可靠。
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